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可定制靶材規格:圓靶(圓弧靶)(直徑<1000mm,厚度>1mm),板靶(長*寬*高 不限),
管靶(外直徑<420mm,壁厚>6mm,長度<6000mm)
材料純度:>99.995%
金屬雜質含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Co/Ni/Cr/Mn/Ti/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翹曲度(Warp):<50μm